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小型二通道混氣系統(tǒng)

產品型號:SL-2Z-LCD-S
產品品牌:上海升利
產品概述:
SL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質子流量計混氣系統(tǒng),PLC觸摸屏控制各通道氣路流量,并可實時查看流量數據及曲線,可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設備配套使用,實現PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。
產品名稱
小型二通道混氣系統(tǒng)(質子流量計) SL- 2Z-LCD-S

基本參數
工作溫度: 5~45°C
最大壓力:0. 3IMPa
精度:士1.5% FS

重復精度:士0. 2%F. s


流量范圍
一路: 1-99SCCM
二路: 1-199 SCCM(.其他流量范圍可定制)注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

輸入電源
AC 220V, 50/60Hz

功率
100W

PLC觸摸屏
各通道的氣路設定和查看都集中在一觸摸屏 上

混氣罐
內置一個不銹鋼混氣罐,可以良好的混氣
有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接
量程:-0.1~0.15 MPa

針閥
316不銹鋼

通氣管道
內部連接管道為1/4”不銹鋼管
外部通氣管道為1/4”聚四氟管

外形尺寸
360 mmLx300 D mum x 190 H mum

產品重量
8.4kg

質量認證
CE認證

質保期
一年質保,終身維護
0

  李總:138-1739-9656

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