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設(shè)備名稱
小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀-SL- 100X-SPC-2

主要特點(diǎn)
直徑6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品。
安裝有一 個(gè)英的樣品臺(tái)，并且樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，使所制瀟膜更加均勻。樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)
氣體流量端口和閥門內(nèi)置可用于腔室凈化和cvD實(shí)驗(yàn)。

基本參數(shù)
控溫方式:手動(dòng)控溫/程序控溫
控溫精度: +/-1C
腔體真空度: 5*10^-SPa (表壓只能顯示到1*10^-1Pa). 樣品室:石英腔體: 167mmOD. x 152mm Dx 260mm H基片:可裝載基片最大尺寸為50mm
輸出電壓: DC 18V
最大輸出電流:≤20A
輸入電源: AC220V/50Hz

輸入功率: <500w

溫控及加熱源

采用5型熱電偶(工作溫度為200C- 1500C) 
可選B型熱電偶(工作溫度為1200C-1700C)
安裝有一個(gè)數(shù)顯的溫度控制器:可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1°C 
溫度控制器的時(shí)間設(shè)置以秒為單位,建議將升溫/降溫速率限制在1200°以下0.39C/s (20°C/ min) ,在1200 - 1500 c限制到0.15"C/s (10"C/min)儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝

進(jìn)氣口
進(jìn)氣接口為1/4NPS,可向真空腔體中通入惰性氣體，對(duì)腔體進(jìn)行清洗,也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜
進(jìn)氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量

尺寸

L440mmx W330mm x H630mm

重量
40 kg

質(zhì)保
一年質(zhì)保期,終生維護(hù)
特別提示: 

1. 耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

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